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Reticle Loadport FWBS Sorter Series BWS Series PLVS Series

Reticle Loadport

光罩承載台
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  • 開鎖、開蓋裝置使用氣缸驅動, 控制和維修變得更簡單。
  • 夾爪模組增加限位導正功能和地震時的防墜防護提升運送過程的安全性與穩定性。
  • 透過RC500控制系統，應用模組化的I/O，讓設備的維修及保養更加便利。
  • 利用馬達編碼器訊號、光電及磁簧感測器確認每一個動作的定位，進而有效地保護光罩。
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