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ALP ALD Debugscope GHR Series

ALD

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  • ALD搭載了氣壓缸裝置用來量測LoadPort門的剛性。
  • 透過ALD基座進行自我校正。
  • 透過ALD基座可以自動下載ALD內所儲存的資料。
  • 可以配合AMHS系統傳送至需量測的機台上。
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