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BWS
BWS 系列為純晶片儲存裝置，安裝在晶圓篩選機後方，並無使用任何空間。實務上因無佔用空間，所以在控制晶片的傳送時間品質上有實質地改善。保證呈現每分鐘控制壓差和極淨氣流。
- BWS是一種混合設備並有產出晶片分類功能和儲存功能，整合晶圓篩選機與純晶片儲存裝置。
- 在晶圓篩選機小型環境中以開關門分離儲存區域。
- 透過整合雙臂潔淨機械手臂，可實現高信賴度和低微粒塵產生。
- 使用伺服機械手臂和線性追跡，高速傳送模式是可行的。
- 使用夾鉗式持片，可避免晶片背面受污染。
- 可搭載 600、1800、2700 或 3200 片的儲存容量。
- 另有 N2 Purge Function 機型可供選擇。