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PLVS Series
PLVS 代表 PoLygon Vacuum System，多邊型真空機台。RORZE 提供的新功能使用多面晶片傳送模組以達到多種機款之需求，擁有此功能能精確地處理晶片傳輸。此機台能藉由使用光學感應器和高精準的機械手臂和真空對齊器來彌補晶片位置錯誤的可能情況。
- 最佳化概念
- 最小機台佔用空間，最佳效率傳送面。
- 使用高效能傳送和前端處理模組及製程模組的互相配合達到最大產出。
- 使用最高品質真空機械手臂的平台。
- 多種選擇
- 自動校正功能以簡化維護作業。
- 晶片對齊功能以改正累積的製程模組所產生的錯誤。
- 針對晶圓破片和碎片的問題有監控功能。
- 對於週期性維護和錯誤避免，提供微小環境監控功能。