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Robot Aligner Loadport Elevator

Robot – 大氣晶圓傳輸機械手臂

RORZE 提供最先進的機械手臂且其有許多特色：

 

  • 加強嚴格的機械手腕設計
  • 機械手臂機型 RR757 & RR759 的特色在於手腕部位的不同設計。
  • RR759 手腕部變厚的設計可以提供額外的強度和硬度。
  • 在新設計中，減少多個滑輪的使用。
  • 增加 Z 軸諧波驅動大小以加強硬度和強度。
  • 現有提供機型: RR734, RR757, RR759。

 

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