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300 mm Wafer Sorter |
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Wafer Sorter with 300mm Wafer ID Reading Function |
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RSC242 A4 Type(2 Robot with 4 Loadport) |
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特點: |
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| 1. |
具備高速度、省空間、低振動、低噪音之裝置 |
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可讀取M12、T7、M1.15 |
| 3. |
可讀取正反兩面之刻度 |
| 4. |
藉由搭配光學及影像處理，可實現高識別率 |
| 5. |
藉由磁性流體密封及全封遮蓋，可發揮超潔淨性能 |
| 6. |
使用抓夾型Robot，可抑止微塵臨摹至晶片背面上 |
| 7. |
使用中段差壓版，可監視氣流及分析，並謀求搬送部附近的低發塵化 |
| 8. |
採用雙臂型Robot，於各位置上可高速交替搬送藉由新型控制器可執行最佳加減速控制 |
| 9. |
Robot數及Loadport數可依客戶訂製搭配 |
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