Sorter/EFEM 晶圓搬送機
自動化平台
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搬運系列
NTB 晶圓暫存機
自動化平台
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儲存系列
BWS晶圓儲存系統
自動化平台
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儲存系列
CSI｜線上化學品全自動分析系統（Chemical Sampling Inspection）
檢測系統
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自動化平台
LAGM™｜雷射剝蝕金屬污染檢測系統（Laser Ablation + ICP-MS）
檢測系統
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自動化平台
Expert™ FAB/PS/LAB｜全自動化氣相分解裝置（VPD System）
檢測系統
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自動化平台
ROBOT 機械手臂
自動化單體
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機械手臂
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半導體自動化系統
ROBOT｜半導體機械手臂
自動化單體
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機械手臂
ROBOT｜RR759 高規精密晶圓搬送手臂
機械手臂
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大氣應用手臂
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自動化單體
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半導體自動化系統
ROBOT｜RR757 精密晶圓搬送手臂
機械手臂
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大氣應用手臂
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自動化單體
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半導體自動化系統
ROBOT｜RR734 高精度晶圓搬送手臂
機械手臂
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大氣應用手臂
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自動化單體
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半導體自動化系統
ROBOT｜RR481 高真空晶圓搬送手臂（武藏系列）
自動化單體
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機械手臂
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真空應用手臂
