產品介紹

Show sidebar
展示 9 12 18 24

Sorter/EFEM 晶圓搬送機

,

NTB 晶圓暫存機

,

BWS晶圓儲存系統

,

CSI｜線上化學品全自動分析系統（Chemical Sampling Inspection）

,

LAGM™｜雷射剝蝕金屬污染檢測系統（Laser Ablation + ICP-MS）

,

Expert™ FAB/PS/LAB｜全自動化氣相分解裝置（VPD System）

,

ASAS II｜自動配製檢量線裝置（Automated Standard Addition System）

,

ASDM自動樣品稀釋系統

,

Aligner｜高精度晶圓校準器

, ,

ROBOT｜半導體機械手臂

,

ROBOT 機械手臂

, ,

Loadport｜高潔淨 FOUP 載具平台