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Aligner｜RA320 高精度晶圓校準器
產品概述
RA320 是樂華科技（RORZE）最成熟且高度可靠的晶圓校準器之一，
採用先進校正技術，確保校準過程與後續製程搬送的高精度與穩定性。
RA320 支援多種校正模式與晶圓尺寸，並可搭配雙感應模組與單軸結構，
能靈活整合於 EFEM、Sorter、Load Port 及各類機械手臂系統中。
系統可即時偵測晶圓偏差，並與機械手臂協同進行位置補償，
有效提升整體搬送效率與生產節拍（Cycle Time）。
核心功能與技術亮點
三種校準模式（Three Alignment Modes）
可依不同製程需求選擇校準方式，包含：
- Notch / Flat 校正
- 中心定位（Centering）
- 角度補償（Angle Compensation）
多尺寸晶圓支援
支援 8 吋（8”）與 12 吋（12”）晶圓尺寸，
適用多種製程線別導入。
雙感應模組（Dual Sensor）選配
可同時對應不同尺寸晶圓，提升換線效率與系統兼容性。
單軸 Aligner（Single-axis Model）
- 占用空間最小
- 具成本效益
- 適合 EFEM / Sorter 狹窄空間安裝
偏差偵測 × 手臂補償
可精準偵測晶圓偏移，並由機械手臂即時進行位置補正，
提升整體搬送速度與穩定性。
技術規格
| Wafer size | Dia. 300 mm |
|---|---|
| Notch angle accuracy | ±0.05 ~ ±0.2° (Depends on alignment mode) |
| Center accuracy | ±0.1 mm (Depends on alignment mode) |
| Positioning time | 5 ~ 7 sec (Depends on alignment mode) |
| Power supply | 24V DC / 4A |
| Communication | TCP/IP (RS-232C optional) |
整體優勢
- 成熟標準機種，穩定性與維護性高
- 高精度角度與中心校準，對應先進製程需求
- 5–7 秒快速定位，提高系統 Throughput
- 模組化設計（單軸 / 雙感應 / 多尺寸）
- 與 RORZE 機械手臂高度整合
- 適用 EFEM / Sorter / Load Port / Inspection / Metrology
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