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Aligner｜RA420 高速高精度晶圓校準器
產品概述
RA420 是樂華科技（RORZE）專為 150 mm ～ 300 mm 各尺寸晶圓打造的高速高精度校準器，
具備更快速的定位時間與更高的角度及中心精度，
適合導入於追求高吞吐量（Throughput）與精確校準的先進製程與檢測設備。
RA420 承襲 RORZE Aligner 系列的先進演算法與穩定機構，
提供多種校準模式，並支援 TCP/IP 與 RS-232C 通訊，
可靈活整合至 EFEM、Sorter、Load Port、Metrology、Inspection 及前段製程設備。
核心功能與技術亮點
多尺寸晶圓支援（150 mm ～ 300 mm）
支援 6 吋至 12 吋晶圓，適用於混線生產與多世代產品共用產線環境。
高速定位（2.5 ～ 6.5 秒）
相較 RA320，RA420 可於更短時間完成校準，大幅提升整體搬送節拍。
高精度 Notch / Center 校準
- Notch 角度精度：±0.05° ～ ±0.1°
- 中心精度：±0.05 mm ～ ±0.1 mm
對應更嚴格的前段製程與量測應用。
多種校準模式整合
可依應用需求切換校正模式（Notch Alignment、Centering、Tilt Correction），
提供最佳演算法支援。
高彈性系統整合能力
支援 TCP/IP，並可選配 RS-232C，適用於：
- EFEM
- Sorter
- Bonder / Cleaner
- Load Port
- Inspection / Metrology / Lithography
技術規格
| Wafer size | Dia. 150 mm ～ 300 mm |
|---|---|
| Notch angle accuracy | ±0.05° ～ ±0.1° (Depends on alignment mode) |
| Center accuracy | ±0.05 mm ～ ±0.1 mm (Depends on alignment mode) |
| Positioning time | 2.5 ～ 6.5 sec (Depends on alignment mode) |
| Power supply | 24V DC / 4A |
| Communication | TCP/IP (RS-232C optional) |
整體優勢
- 支援 6”～12” 晶圓，跨產線整合彈性高
- 相較 RA320 擁有更快定位速度
- 高角度與中心精度，對應先進製程需求
- 適用各類搬送、量測與檢測設備
- 高穩定性、低維護設計
- 符合 RORZE 標準通訊整合架構
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