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CSI｜線上化學品全自動分析系統（Chemical Sampling Inspection）
產品概述
CSI（Chemical Sampling Inspection）是一款可與 ICP-MS 連動的
全自動化化學品進樣與金屬雜質監測系統，
專門用於半導體製程中酸、鹼及有機溶劑的金屬污染即時監測。
系統具備 超潔淨專管專用管路、智慧判讀、自動警報、
全自動稀釋與分析 等功能，可將金屬偵測極限降至
Sub-ppt 等級，滿足先進製程污染控管需求。
CSI 可支援多種常見化學品，如：
H₂SO₄、H₂O₂、Thinner、IPA、TMAH、NH₄OH…等，是各晶圓廠鍋爐間（Chemical Supply Area）與製程現場最關鍵的化學品監控設備。
核心功能與技術亮點
ICP-MS 全自動進樣分析
- 自動取樣與自動稀釋
- 自動數據判讀與比對
- 即時警報通知（Alarm Notify）
- 支援 24/7 無人化運作
超潔淨化學管路（Ultra Clean Flow Path）
- 專管專用設計
- 避免交叉污染
- 適用酸、鹼、有機化學品
Sub-ppt 等級污染偵測
- 偵測極限 < 1 ppt
- 對應 5nm / 3nm / EUV 製程需求
多化學品整合分析
支援以下化學品：
- H₂SO₄
- H₂O₂
- IPA
- TMAH
- NH₄OH
- Thinner
一台設備整合酸／鹼／有機三類系統。
SEMI 安全機構（S2 / S8）
- EMO 緊急停機
- 液體洩漏偵測
- N₂ 系統保護
- 排風監控系統
技術規格
| 應用化學品 | H₂SO₄ / H₂O₂ / IPA / TMAH / NH₄OH / Thinner |
|---|---|
| Exhaust | 6.4 – 8.7 m/s, Φ100 mm ×1 |
| N₂ Gas | Purity > 99.996%, Max. 2 L/min |
| DI Water | Avg. 0.2 L/min, Max. 1 L/min |
| 安全裝置 | EMO / Leak Detector / SEMI S2 & S8 |
| Detection Capability | Sub-ppt level (< 1 ppt) |
| Analysis Mode | 10× dilution automatic measurement |
| Operation | 24/7 Continuous Automatic Analysis |
其他功能（Others）
- 微量金屬污染分析（Sub-ppt）
- ICP-MS 模組整合
- 全自動稀釋與量測流程
- 長時間穩定連續監測
整體優勢（Why CSI）
- 酸／鹼／有機三系統整合，一台完成
- Sub-ppt 偵測能力，對應先進節點製程
- 專管專用設計，最低交叉污染風險
- 全自動稀釋、判讀與警報，實現零人工
- 24/365 長時間穩定運作
- 符合 SEMI 安全規範與工安需求
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