NTB 晶圓暫存機

NTB（Near Tool Buffer）晶圓暫存機是為了因應半導體製程中 AMHS（Automated Material Handling System）效率瓶頸 而誕生的關鍵設備。隨著製程技術微縮、製程道數不斷增加，儘管 FAB 已導入 OHT 高速化、OHB／OHC 設施，但在 多產品、多批次、小量化的生產情境中，FOUP 搬送能力依然成為影響產能的主要障礙。

NTB 的核心價值，在於提供高度彈性的中間緩衝站（Intermediate Buffer），有效減輕 OHT 與產線即時搬送的壓力。

現況課題：AMHS 效率極限

◎ 製程道數增加，搬送需求爆量

隨著製程微縮，每片晶圓需經過更多道製程，FOUP 的周轉需求呈倍數成長。

◎ OHT 高速化仍難以滿足瞬時需求

即便提升 OHT 速度或加裝 OHB / OHC，仍面臨高峰時段 FOUP 取放延遲。

◎ 多樣化產品 × 小批量生產

產品版本多、小批量快變動，使 FOUP 調度變得更不可預期，搬送調度壓力更高。

因此，FAB 迫切需要一種 降低 AMHS 壓力、加速流動、提升彈性 的暫存解法——NTB 應運而生。

NTB 的五大優勢

1. 節省 OHT 遠端取料時間

NTB 能作為就近緩衝站，避免 OHT 必須長程往返。

→ 減少搬送等待、縮短 Cycle Time，提升整體產能。

2. 降低人力成本

透過暫存與彈性調度，減少人工介入調整、重新調度與搬送分配。

→ 提升自動化程度，減少維護與人工支援成本。

3. 免除 FOUP 購買負擔與儲放空間

NTB 可減少因等待搬送而需額外配置的 FOUP 數量。

→ 減少 FOUP 購置費用

→ 降低存放空間需求與管理負擔

4. 縮短停擺時間

設備不再因「等 FOUP」而處於 Idle 狀態。

→ 製程設備稼動率（Uptime）提升

→ 降低FOUP傳送的延遲時間

5. 實質提升 FAB 產能

透過高效率暫存與調度配置，使製程機台更能連續運作。

→ 無需大幅調整 OHT 系統

→ 以最低成本達到最高效益的產能提升方案