ROBOT｜RR481 高真空晶圓搬送手臂（武藏系列）

產品概述

RR481 為樂華科技（RORZE）旗下 武藏系列（MUSASHI Series）旗艦級真空機械手臂，
專為高真空製程、薄膜沉積（CVD / PVD）、蝕刻（Etching）、EUV、量測與前段製程打造。

此系列以 極低污染機率、高精度搬送 與 最小旋轉半徑 著稱，
結合鋼製皮帶手臂、高剛性驅動結構與真空對應馬達，是市場上成熟且穩定的真空搬送解決方案。

RR481 具備自動晶圓位置補償功能，可修正多段製程累積的偏移，提升整體搬送穩定性與良率。

產品特點與技術亮點

高真空 × 最小旋轉半徑設計

採鋼製皮帶手臂與真空專用驅動部件
非橡膠皮帶設計 → 避免 outgassing 與微粒產生
高真空環境中仍維持最小旋轉半徑與穩定搬送

武藏系列極低污染架構

武藏系列為 RORZE 真空旗艦產品，具備：

超潔淨腔體對應結構
真空對應 Direct Drive 馬達
高真空專用材料（AM350 Bellows、Fluorine O-ring 等）

→ 將運作過程中的污染風險降至最低

長端受動器（Long End Effector）

對應狹窄開口與深腔體
支援遠距離取片與複雜腔體操作

三軸 Direct Drive 高精度傳動

三軸 Direct Drive + Link Structure
反應快速、背隙極低
運動平順且高度可重複

自動晶圓位置補償（Auto Offset Compensation）

自動修正多製程累積偏移
提升製程穩定度與良率

技術規格

Substrate size	Up to 300 mm wafer
Capacity	3.0 kg / 10 Nm (including end-effector)
Transfer distance	1115 mm (300 mm wafer)
Z-axis stroke	70 mm / 140 mm
Transfer accuracy (X,Y)	±0.1 mm
Mass	100 kg
He leakage rate	5×10⁻⁹ Pa·m³/sec He (Base vacuum 5×10⁻⁴ Pa)
Operating temperature	≤ 80°C
Vacuum materials	Aluminum, Stainless steel, AM350 (Bellows), Ni-plated Magnet, Fluorine-based O-ring

整體優勢（Why RR481?）

高真空腔室專用旗艦機種
武藏系列極低污染設計
最小旋轉半徑，適合狹小空間
±0.1 mm 高精度搬送能力
自動補償晶圓偏移
適用 CVD / PVD / EUV / Etching 等前段製程
所有接觸面與材料皆對應高真空條件

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