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ROBOT｜RR734 高精度晶圓搬送手臂：圖片 1
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ROBOT｜RR734 高精度晶圓搬送手臂

產品概述

RR734 為高潔淨度（Class 1）半導體專用機械手臂，延續 RR700 系列以高精準、高穩定搬送為核心的設計理念。
其結構全面針對先進製程環境優化，包括強化手腕結構、更高剛性的 Z 軸傳動，以及低微粒、高可靠度的裙式密閉本體（Skirt-type Body）。

RR734 可支援多種晶圓載具，並具備彈性的夾持方式，是 EFEM、Sorter、BWS、OHT 交握等系統中的高效搬送核心。

核心技術與機構設計

加強型手腕結構（Reinforced Wrist）

RR734 採用與 RR757 / RR759 同等級的強化手腕設計，大幅提升以下性能：

  • 抗震能力提高
  • 長時間運轉剛性維持更佳
  • 高速搬送穩定性全面提升

減少滑輪結構，提升可靠度

  • 新一代傳動設計減少多餘滑輪
  • 簡化傳動鏈、降低故障點
  • 提升搬送精度並延長使用壽命

大型 Z 軸諧波驅動（Harmonic Drive）

  • 加大 Z 軸諧波驅動器尺寸
  • 提升 Z 軸強度與剛性
  • 提供高負載、高精度升降動作

高潔淨度與本體結構

Class 1 潔淨度對應

全機針對先進無塵室設計，運動過程中極低微粒產生。

Skirt-type Body（裙式密閉式機體）

  • 最大程度減少內部粒子向外逸散
  • 適用 EUV、前段製程、精密檢測等極潔淨環境

多種搬送方式（End Effector Options）

RR734 提供多種晶圓搬送夾持選擇，可依不同製程或機台需求切換：

  • Vacuum Chucking（真空吸附式）
  • Edge Clamp（邊緣夾持式）
  • Mini Contact（極小接觸式）

對應材料

RR734 可處理多種晶圓材質與載具，適用於多元產線環境：

  • Silicon Wafer（矽晶圓）
  • Glass Wafer（玻璃晶圓）
  • Frame Wafer（框架晶圓）

整體優勢

  • 強化手腕結構，搬送更穩定
  • 高剛性 Z 軸驅動，提高垂直定位精度
  • 適用 Class 1 高潔淨環境
  • 支援多種材質與夾持方式
  • 高可靠度、低維護設計
  • 適用多種半導體設備（EFEM / Sorter / BWS / OHT interface）
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