ROBOT｜RR757 精密晶圓搬送手臂

產品概述 RR757 為新一代高潔淨度（Class 1）半導體機械手臂，專注於提升腕部結構的剛性、搬送穩定性與高精度運動能力。此機型與 RR759 最大差異在於 手腕（Wrist<）結構的強化設計，能夠應對更高負載、更嚴苛的震動與精度需求。 機體採用 Skirt-type 密閉式本體結構，大幅降低微粒逸散，適用於最嚴格的先進製程環境。 核心技術與機構強化 ◎ 強化手腕設計（Reinforced Wrist Structure） RR757 與 RR759 的主要差異在於手腕部位：

• RR757 採用加強式手腕結構，提高耐用度與穩定性
• 減少滑輪（Pulleys）數量，使傳動鏈更簡潔可靠

→ 降低維護需求並提升搬送精準度 ◎ 大型 Z 軸諧波驅動器（Harmonic Drive）

• 增加 Z 軸諧波驅動器尺寸
• 提升 Z 軸剛性、強度與長期穩定度
• 提供更高負載與更平順的升降動作

高潔淨度結構設計 ◎ Class 1 潔淨度對應 全機體針對先進無塵室設計，確保取放晶圓時不產生微粒污染。 ◎ Skirt-type Body（裙式密閉本體） 減少內部顆粒外洩，提升整機潔淨表現。 搬送方式（End Effector Options） RR757 具備多種可替換夾持方式，可依應用自由切換：

• Vacuum Chucking 真空吸附式
• Edge Clamp 邊緣夾持式
• Mini Contact 極小接觸式

對應材料 RR757 可對應多種材料與載具：

• Silicon Wafer（矽晶圓）
• Glass Wafer（玻璃晶圓）
• Frame Wafer（框架晶圓）