ROBOT｜RR759 高規精密晶圓搬送手臂

產品概述

RR759 為 RR700 系列中高性能的雙臂機械手臂（Double Arm Model），專為 300 mm 晶圓、高精度搬送與嚴格潔淨環境所打造。
相較於 RR757 與 RR734，RR759 具備更長的最大搬送半徑與高度彈性的 Z 軸行程，適用於大型 EFEM、Sorter、Stocker 及多機台整合搬送場景。

全機達到 ISO Class 1 無塵室等級，搭配高精度位置控制與絕對編碼器（Absolute Encoder），確保晶圓於高速運動中仍維持極高準確度與重複性。

Arm / Blade	Double
Arm length [mm]	270
Z-axis stroke [mm]	190 / 420 / 550
Max. transfer position [mm]	R962 (For 300mm wafer)
Rot. range [deg]	420
Transfer accuracy [mm]	±0.1
Cleanliness ISO-CLASS	1
Rotation radius	R320 (Depends on wrist & finger length)
Encoder specification	Absolute

產品特點與技術亮點

雙臂結構（Double Arm）— 提升吞吐量與彈性

雙臂可交替取放晶圓，縮短 Cycle Time，提高 EFEM / Sorter / Cleaner 系統整體效能。

最大搬送半徑 R962 — 支援大型操作範圍

可處理 300 mm 晶圓並對應更多樣化的搬送配置與機台佈局。

多段 Z 軸行程可選

短行程：高速場景 / 低腔體高度
中行程：標準 EFEM、Sorter
長行程：多層結構、特殊高度需求

高精度 ±0.1 mm 搬送能力

搭配 Absolute Encoder，提高定位精度與設備穩定性。

ISO Class 1 超潔淨設計

適用先進製程、前段加工、檢測設備等極低微粒需求場景。

R320 小迴轉半徑

適合狹窄空間與高密度設備環境（依 wrist / finger length 設定而定）。

整體優勢

高吞吐：雙臂交互搬送提升速度
高潔淨：ISO Class 1 對應先進製程
高精度：Absolute Encoder + ±0.1 mm 精度
高彈性：三種 Z-axis stroke 可選
高適應性：支援 EFEM / Sorter / BWS / OHT Interface
小迴轉半徑：狹窄空間仍可高速運作

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