Sorter/EFEM 晶圓搬送機

產品概述

RORZE 晶圓篩選與搬送系統是半導體產業中備受高度信賴的設備之一，以其 極高潔淨度、高可信度與高精密度聞名。整體設計兼具高速度、省空間、低振動與低噪音，滿足先進無塵室與高效生產線的需求。

系統支援讀取 M12、T7、M1.15 等晶圓資訊格式，並可同時辨識晶片正面與背面的刻號。結合光學模組與影像處理技術，能提供高識別率與穩定的生產效能。

◎ 優化的無塵室潔淨控制

• 採正壓壓力分離板設計，有效降低傳送區域微粒產生
• 機械手臂採負壓設計，運作中不產生微塵，符合無塵室第一層級標準

◎ 高速精準搬送機構

• 雙臂機械手臂可在各定位點高速交替搬送
• 可搭配 RR-734 雙邊移動取片手臂，無需 X-table，更省空間
• 新一代控制器提供最佳化加減速效能，提高搬送效率與穩定性

◎ 讀取與識別能力

• 支援正刻＆背刻雙面 ID 辨識
• 可對應光罩、晶圓、框架、面板等多種載具
• 高性能光學 + 影像辨識系統，提升識別率

產品特點

◎ 多工、多規格相容

• 支援晶圓翻面、開放式卡匣（Open Cassette）
• 可處理各種材質晶圓(Si、Glass、貼合晶圓等各式材料)
• 兼容 200 mm 與 300 mm 晶圓

◎ 高速且高精度的對位能力

• 研發多種樣式對位機，配合不同材質與需求，實現高速高精度對位

◎ 高彈性整合能力

• 可選配讀取晶圓正反面ID
• 支援 OHT、Stocker 系統串接
• 具備直覺化觸控介面，搬送指令操作更易理解

◎ 多種搬送模式

• 真空吸附式（Vacuum Chucking Type）
• 邊緣夾持式（Edge Clamp Type）
• 翻轉式（Flip）
• 極小接觸式（Mini Contact）

客製化選項

• 玻璃晶圓與貼合晶圓（Laminate Wafers）套件
• 離子除靜電裝置（Ionizer）
• 晶圓內部緩衝區（Wafer Internal Buffer）
• 各式化學濾網（Chemical Filters）
• RF-ID / Bar Code 讀取模組
• 可連結 Stocker 的 FOUP（Stoker-mounted type FOUP）
• N₂ / XCDA（極純乾燥空氣）吹氣系統
• E84 介面