Robot - 真空吸片機械手臂

說到真空吸片機械手臂，樂華科技銷售的廣泛綜合系列之高品質機器，透過結合鋼鐵材質的皮帶手臂和驅動部位，達到高真空和最小旋轉半徑二個功能。

• 最小佔用空間腔體，運用最小轉動半徑的回置原點手臂
• 對遠端取片和狹小開放匣門二者提供長端受動器概念。
• 擁有三軸直接驅動馬達和連結軸的方式，以達到高傳送精確性。
• 使用非橡膠皮帶結構達到高真空效果。

• 武藏系列
• 我們真空式機械手臂的旗艦模型是我們武藏系列的機械手臂。這種系列的機械手臂受污染機率極低，是藉由樂華科技研發的艙壁架構真空直接驅動馬達所達成的結果。伴隨著晶圓片傳輸位置補償功能夠自動地彌補在晶圓片傳送過程中產生的晶圓片位置偏差，能解決任何從多種製程有關的累積偏差位置。
• 武藏系列型號，RR470, RR480, RZ301。